PicoFemto扫描电镜原位气氛加热环境测量系统，将MEMS气氛环境微腔和加热模块集成到扫描电

镜样品台上，在扫描电镜中制造可控的气氛环境并且可以对实验样品原位加热。该系统允许研究者

在气氛环境中原位、动态、高分辨地对样品的形貌结构和化学组分进行综合表征，大大拓展了扫描

电镜的功能与应用领域。该产品可实现1 Bar & 800 ℃的观测条件，使研究者可以在扫描电镜中实

时观测催化反应、氧化还原反应、低维材料生长/合成以及各类腐蚀反应，将您的扫描电镜从一台

静态成像工具升级为一套功能强大的纳米实验室。

性能指标

气体流动指标：

● 三通道混气；

● 气压范围：0 - 1 Bar；

● 气压准确度：30 mBar；

● 气体流速： 0.01 - 0.4 ml/min；

● 可通气体：H2, N2, O2, He, Ar, CO, CO2, CxHy等；

● 软件控制。

扫描电镜指标：

● 兼容指定类型电镜；

● 保证电镜原有真空度；

● MEMS反应微腔指标：

● 高质量氮化硅膜厚度30 nm；

● 样品漂移优于0.7 nm/min。

热学指标：

● 温度范围：室温至800 ℃；

● 温度准确度：优于5%； 

● 温度稳定性：优于±0.1 ℃；

● 四电极加热，带温度反馈；

● 软件控制。