SEM纳米探针台产品实现了三维空间上的准确定位， 它具有分辨率高，尺寸紧凑，行程大，操作简单，能在真空下使用等优点，可应于SEM真空腔体内完成各种纳米精度运动操作。

SEM纳米探针台产品使用压电陶瓷驱动，运无需润滑，百分真空兼容，并可在很广的温度范围内工作。运动分辨率达到纳米级。步进和扫描双模式工作，在宏观行程范围内达到亚纳米分辨率的定位。

三轴探针台由三个单轴运动台组合而成。一SEM腔体内可安装多个三轴探针台。平上可安装电学探针、光纤探针、纳米镊子、金刚石纳米力压头、显微注射器等各类操纵和测量头，实现微纳操纵和测量的目的。

产品应用

单个探针指标

外形尺寸：L48.6mm*W32.2mm*H43.6mm

X/Y/Z轴行程：±10mm

X/Y/Z轴速度：~3mm/s

X/Y/Z轴运动分辨率：<0.5nm

Z轴**负载：270g

标准配置包含：

探针主体

适配SEM/FIB的底座

过真空法兰

探针控制器及控制手柄

选配：

低温、高温样品台

光纤夹头和光纤真空馈通

EBIC套件

产品特点

结构紧凑，高刚性

零间隙，高精度柔性铰链导向系统 

压电陶瓷位移平台具有超长使用寿命

内部根据需求可增加位置反馈 

应用：纳米材料操纵、纳米器件电学光电等物性测量、生物细胞DNA操作等

适配SEM：日本电子、 日立、FEI、 TESCAN等

应用案例