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Nano Energy:泽攸科技STM-TEM原位样品杆在新一代半导体器件研发中的应用

Nano Energy:泽攸科技STM-TEM原位样品杆在新一代半导体器件研发中的应用
泽攸科技  2025-04-02  |  阅读:35

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本期带来的是一篇PicoFemto原位样品杆在新一代半导体器件研发中的应用场效应晶体管在半导体行业有着广泛的应用。其中,由压电材料(氧化锌等)作为门控的场效应管在近年获得了广泛关注。本文利用STM-TEM原位样品杆搭载单根氧化锌纳米线,并在TEM中原位操纵、测量和观测。研究表明,当我们使用STM探针对氧化锌纳米线施加2.63%的应力后,该材料的电导率会骤降2个数量级。结合TEM的观测结果我们发现,这种电导率的变化与接触点处肖克力势垒无关,而是源自氧化锌纳米线横向压电潜能带来的载流子损耗。相关研究由日本NIMS、中科院物理所和量子物质合作创新中心共同完成,成果发表在《Nano Energy》上(Nano Energy (2015)13, 233-239)。

   泽攸科技的PicoFemto原位样品杆在该研究中稳定而精确地实现了搭载样品、电学测量以及施加应力的任务。

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   氧化锌纳米线一端被固定在金针上,另一端通过钨针对其施加应力。

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    理论模型对实验结果的支持

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   应用器件模型


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