PicoFemto原位扫描电镜光电力一体化系统，集成了扫描探针控制单元，可在三维空间内对电学

探针与光纤探针进行亚纳米级别精度的操纵与定位。通过电学探针施加电场，通过光纤施加光场，

对单个纳米结构进行操控并进行电学性质、光电性质的测量。并可在物性测量的同时，动态、高分

辨地对样品的晶体结构、化学组分、元素价态进行综合表征，大大地扩展了扫描电镜的功能与应用

领域。

性能指标

电学测量指标：

● 包含一个电流电压测试单元；

● 电流测量±1.5 A，±100 fA；

● 电压输出±200 V，±100 nV；

● 自动电流-电压（I-V）测量、电流-时间（I-t）测量，自动保存。

扫描探针操作指标：

● 粗调范围：XY方向2.5 mm，Z方向1.5 mm；

● 细调范围：XY方向18 um，Z方向1.5 um；

● 细调分辨率：XY方向0.4 nm，Z方向0.04 nm。

光纤指标：

● 光纤外径250 um，保证电镜系统真空指标；

● 可选光纤探针、平头光纤、光纤透镜；

● 可选SMA接头、FC接头。

力学传感器指标：

● 载荷100 mN（可选0.1 mN、1 mN、10 mN、100 mN）；

● 力测量实测噪声优于5nN（0.1 mN**载荷时）；

● 力测量实测分辨率优于5 nN（0.1 mN**载荷时）；

● 自动测量力-距离曲线，自动保存。